发明名称 掺杂Ce的PZT系压电膜形成用组合物
摘要 本发明的掺杂Ce的PZT系压电膜形成用组合物含有PZT系前体、二醇及聚乙烯吡咯烷酮等,所述PZT系前体含有构成复合金属氧化物的各金属原子。组合物中的金属原子比Pb:Ce:Zr:Ti满足(1.00~1.28):(0.005~0.05):(0.40~0.55):(0.60~0.45),且以Zr与Ti的金属原子比的合计比例成为1的比例含有PZT系前体。组合物100质量%中所占的PZT系前体的浓度以氧化物浓度计为17~35质量%,组合物100质量%中的二醇的比例为16~56质量%,聚乙烯吡咯烷酮等的比例相对于PZT系前体1摩尔,以单体换算为0.01~0.25摩尔。
申请公布号 CN106133932A 申请公布日期 2016.11.16
申请号 CN201580015351.2 申请日期 2015.03.20
申请人 三菱综合材料株式会社 发明人 土井利浩;樱井英章;曽山信幸
分类号 H01L41/187(2006.01)I;C01G25/00(2006.01)I;H01L41/318(2006.01)I 主分类号 H01L41/187(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 朴圣洁;王珍仙
主权项 一种掺杂Ce的PZT系压电膜形成用组合物,其为用于形成由掺杂Ce的复合金属氧化物所构成的PZT系压电膜的组合物,所述掺杂Ce的PZT系压电膜形成用组合物含有PZT系前体和二醇,并含有聚乙烯吡咯烷酮或聚乙二醇,所述PZT系前体含有构成所述复合金属氧化物的各金属原子,所述组合物中的金属原子比Pb:Ce:Zr:Ti满足1.00~1.28:0.005~0.05:0.40~0.55:0.60~0.45,且以所述Zr与所述Ti的金属原子比的合计比例成为1的比例含有所述PZT系前体,所述组合物100质量%中所占的所述PZT系前体的浓度以氧化物浓度计为17~35质量%,所述组合物100质量%中的所述二醇的比例为16~56质量%,所述聚乙烯吡咯烷酮或聚乙二醇的比例相对于所述PZT系前体1摩尔,以单体换算为0.01~0.25摩尔。
地址 日本东京