离子束装置、离子注入装置、离子束放出方法

摘要

本发明涉及离子束装置、离子注入装置、离子束放出方法。除去堆积于引出电极的反应副生成物，以便能够立即恢复为离子束照射。设定对引出电极（34）施加正电压的正电压期间，在离子源（33）的内部生成电子，从离子源（33）引出电子，使其照射到引出电极（34）来对引出电极（34）进行加热。在真空环境中，反应副生成物层（27）进行蒸发，除去反应副生成物层（27）。向离子源（33）导入清洗气体来生成清洗气体的正离子，设定对引出电极（34）施加负电压的负电压期间，将清洗气体的正离子向引出电极（34）照射，通过溅射或蚀刻反应来除去反应副生成物层（27）也可。

主权项

一种离子束装置，具有：离子源；主电源，在所述离子源内生成电子；引出电极，被设置在所述离子源的外部；以及辅助电源，对所述引出电极施加电压，所述引出电极被配置为设置于所述引出电极的加速孔与所述离子源的放出口面对面，通过使用所述主电源生成的电子对被导入到所述离子源中的注入材料气体进行离子化，通过离子化生成的正离子被由所述辅助电源施加负电压后的所述引出电极引出而成为离子束被放出，其中，所述辅助电源被构成为能够对所述引出电极施加正电压。