具有带间隙的肋条的机电系统结构

摘要

本发明提供用于机电系统EMS组合件的系统、方法及设备。所述EMS组合件包含衬底、安置于所述衬底上的锚固件及由所述锚固件支撑于所述衬底上的悬置平面本体。所述悬置平面本体包含从所述悬置平面本体的平面延伸出且朝向所述衬底突出的至少一个凹部。所述悬置平面本体还包含对应于所述至少一个凹部中的间隙的实质上水平部分。所述间隙的范围达所述悬置平面本体的长度的20％。

主权项

一种机电系统EMS组合件，其包括：衬底；安置于所述衬底上的锚固件；及由所述锚固件支撑于所述衬底上的悬置平面本体，其中所述悬置平面本体界定第一孔隙及第二孔隙且包含：从所述悬置平面本体的所述平面延伸出的至少一个凹部；及实质上水平部分，其对应于所述至少一个凹部中的间隙，其中所述实质上水平部分从所述悬置平面本体的第一边缘沿所述悬置平面本体的所述平面延伸到所述悬置平面本体的相对第二边缘，所述第一边缘形成所述第一孔隙的周边的至少一个部分，且所述第二边缘形成所述第二孔隙的周边的至少一个部分，且其中所述实质上水平部分由所述第一边缘和所述第二边缘以及两条与所述第一边缘和所述第二边缘交叉的直线界定。