一种石英舟结构

摘要

本实用新型涉及硅片扩散载具技术领域，公开了一种石英舟结构，包括左支撑板、右支撑板，左支撑板与右支撑板相互平行，左支撑板、右支撑板的底部设有支撑脚，左支撑板与右支撑板之间设有两根上限位杆、两根下限位杆，左支撑板与右支撑板的下端之间设有两根支撑杆，上限位杆、下限位杆水平分布，上限位杆、下限位杆的截面呈正方形，上限位杆、下限位杆的底面与水平面呈45°夹角，上限位杆、下限位杆的内侧棱边处设有若干硅片限位槽。本实用新型具有在保证硅片定位稳定的条件下有效减小硅片与硅片限位槽的接触面，从而提高硅片扩散品质的有益效果。

主权项

一种石英舟结构，包括左支撑板、右支撑板，所述左支撑板与右支撑板相互平行，所述左支撑板、右支撑板的底部设有支撑脚，其特征是，所述左支撑板与右支撑板之间设有两根上限位杆、两根下限位杆，左支撑板与右支撑板的下端之间设有两根支撑杆，上限位杆、下限位杆水平分布，上限位杆、下限位杆的截面呈正方形，所述上限位杆、下限位杆的底面与水平面呈45°夹角，所述上限位杆、下限位杆的内侧棱边处设有若干硅片限位槽。