发明名称 切削装置
摘要 本发明提供切削装置,其能够在不使用大容量的压缩机而维持高压的状态下喷射高压水,可通过廉价的结构获得良好的去毛刺效果。切削装置(1)具有:卡盘台(4),其保持板状工件(W);θ工作台(14),其使卡盘台进行旋转;切削单元(3),其通过切削刀具(31)切削板状工件;切削进给单元(15),其使卡盘台与切削单元在X方向上相对进行切削进给;以及去毛刺单元(5),其去除形成于板状工件上的切削槽(G)的毛刺。去毛刺单元具有对板状工件的上表面喷射高压水的去毛刺喷嘴(51)。卡盘台按照每个规定角度进行旋转,且相对于从去毛刺喷嘴喷射的高压水而被切削进给。
申请公布号 CN105904029A 申请公布日期 2016.08.31
申请号 CN201610088193.X 申请日期 2016.02.17
申请人 株式会社迪思科 发明人 植山博光;栗村茂也
分类号 B23D79/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 B23D79/00(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;金玲
主权项 一种切削装置,其具有:卡盘台,其保持板状工件;卡盘台旋转单元,其使该卡盘台进行旋转;切削单元,其以能够旋转的方式安装该切削刀具,通过切削刀具切削由该卡盘台保持的板状工件;切削进给单元,其使该卡盘台在X方向上进行切削进给;分度进给单元,其使该切削单元在Y方向上进行分度进给;以及去毛刺单元,其从切削槽去除形成于板状工件上的毛刺,该切削槽是利用该切削单元对该卡盘台保持的板状工件进行切削而形成的,该去毛刺单元具有:去毛刺喷嘴,其具有向该卡盘台保持的板状工件的上表面喷射高压水的喷射口;以及高压水供给单元,其对该去毛刺喷嘴供给高压水,该卡盘台旋转单元具有:旋转驱动部,其使该卡盘台进行旋转;以及角度指令部,其通过该旋转驱动部使该卡盘台以规定的角度进行旋转,从该去毛刺喷嘴喷射高压水,通过该切削进给单元使利用该卡盘台旋转单元而被定位于由该角度指令部指定的规定的角度处的该卡盘台进行切削进给,从而能够去除在该卡盘台保持的板状工件上形成的毛刺。
地址 日本东京都