| 发明名称 | 一种机械手臂及其使用该机械手臂减少颗粒缺陷的方法 | ||
| 摘要 | 一种机械手臂，具有连接臂和用于承载晶圆的晶圆承载夹持结构，并在所述机械手臂之连接臂处设置气体管路，且所述气体管路之出气口面向所述晶圆承载夹持结构的一侧。本发明通过在所述机械手臂之连接臂处设置气体管路，且所述气体管路之出气口面向所述晶圆承载夹持结构的一侧，并在待工艺处理之晶圆从晶圆传输盒至晶舟，或者从晶舟至晶圆传输盒的传输过程中，所述气体管路之出气口面向所述晶圆承载夹持结构喷吹洁净气体，以对所述机械手臂进行清洁，去除可能掉落在晶圆上的颗粒，从而达到减少颗粒缺陷的效果，提高产品良率。 | ||
| 申请公布号 | CN105845612A | 申请公布日期 | 2016.08.10 |
| 申请号 | CN201610212582.9 | 申请日期 | 2016.04.07 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 涂新星;王智;苏俊铭 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种机械手臂，具有连接臂和用于承载晶圆的晶圆承载夹持结构，其特征在于，所述机械手臂之连接臂处设置气体管路，且所述气体管路之出气口面向所述晶圆承载夹持结构的一侧。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||