具有高速高精度的对称式电机驱动平台

摘要

本发明公开了一种具有高速高精度的对称式电机驱动平台，该运动平台包括：X平台、Y平台和工作台，其中Y平台安装在X平台上，工作台安装在Y平台上，X平台主要包括驱动Y平台在X平台上运动的对称设置的第一直线电机和第三直线电机，以及支撑Y平台运动的第一直线导轨，Y平台主要包括驱动工作台在Y平台上运动的第二直线电机以及支撑工作台运动的第二直线导轨，工作台上载有负载，本发明还包括设置于第一直线电机和第二直线电机上的磁屏蔽箱体，用于减少电机的磁漏。通过上述机构，使直线电机定子的磁场被有效屏蔽，从而减小电机漏磁产生的不利影响，使电机的发热量大幅降低，在确保高精度控制的条件下，可以更进一步地提高平台的移动速度。

主权项

一种具有高速高精度的对称式电机驱动平台，其特征在于，包括X平台、Y平台和工作台；所述X平台固定，Y平台安装在X平台上，工作台安装在Y平台上；所述X平台包括第一直线导轨、第一底座、第一直线电机、与第一直线电机对称设置的第三直线电机和第一反馈传感器，所述第一直线电机包括第一定子、第一动子和第一磁屏蔽箱体，所述第三直线电机包括第三定子、第三动子和第三磁屏蔽箱体，所述第一直线导轨包括第一导轨和第一滑块，所述第一反馈传感器包括第一光栅尺和第一读数头；所述第一导轨固定在第一底座上与X轴方向平行，所述第一定子固定在第一底座上，位于第一导轨的一端，第一磁屏蔽箱体将第一定子裹住，减少磁泄漏，所述第一动子与Y平台的一端连接，所述第三定子设置在第一导轨的另一端，第三磁屏蔽箱体将第三定子裹住，所述第三动子与Y平台的另一端连接，与第一动子共同驱动Y平台在第一直线导轨上往复运动；所述Y平台包括第二直线导轨、第二底座、第二直线电机和第二反馈传感器，所述第二直线电机包括第二定子、第二动子和第二磁屏蔽箱体，所述第二直线导轨包括第二导轨和第二滑块，所述第二反馈传感器包括第二光栅尺和第二读数头；所述第二底座安装在第一滑块上，分别与第一动子和第三动子连接，由第一动子和第三动子一起驱动，所述第二导轨固定在第二底座上且与Y轴方向平行，所述第二定子固定在第一底座上，所述第二磁屏蔽箱体将第二定子包裹，减少磁泄漏，所述工作台安装在第二滑块上，所述第二动子与工作台连接，驱动工作台在第二直线导轨上运动；所述工作台上装有负载；所述第一光栅尺设置在第二底座的一侧，与第一导轨平行，所述第一读数头固定在第一底座上，读取第一光栅尺的刻度，所述第二光栅尺设置在工作台的一侧，与第二导轨平行，所述第二读数头固定在第二底座上，读取第二光栅尺的刻度。