一种共形结构气路防回流吹扫装置

摘要

本发明提供一种共形结构气路防回流吹扫装置，包括密封舱体，反射镜座固定在所述密封舱体上，光窗设置在所述密封舱体上，并通过光窗压盖压紧固定在密封舱体上，其特征在于，还包括至少部分位于所述密封舱体内部的吹扫装置，用于对所述光窗进行吹扫。本发明采用气路与结构一体式设计，多部件装配实现气路连接，充分利用设备内部空间。本发明采用单向气阀密封材料采用橡胶，使得单向气阀设置较低弹簧压力满足非工作状态时的密封，设置弧面密封环与橡胶密封垫接触，降低密封垫使用磨损。本发明采用成组分布的吹扫喷口，分布范围覆盖大部分光窗范围。

主权项

一种共形结构气路防回流吹扫装置，包括密封舱体，反射镜座固定在所述密封舱体上，光窗设置在所述密封舱体上，并通过光窗压盖压紧固定在密封舱体上，其特征在于，还包括至少部分位于所述密封舱体内部的吹扫装置，用于对所述光窗进行吹扫；所述吹扫装置包括位于所述密封舱体内的真空泵和单向气阀；所述真空泵设置在反射镜座的三角形空间隔板上，单向气阀密封安装在反射镜座的单向阀安装腔体上，所述单向阀安装腔体由反射镜座和后盖板限定，并作为所述气路的一部分。