用于探测运动的微陀螺仪

摘要

本发明涉及一种用于探测相对于X轴和/或Y轴和Z轴的运动的微陀螺仪，特别是作为三维、五维或六维传感器。所述微陀螺仪包含基底（2），若干振动样本模块（1），用于将振动样本模块（1）附接至所述基底（2）的锚固件（3、4）以及安置在锚固件（3、4）与样本模块（1）之间的锚固弹簧（5、6），用于在X-Y平面内振动样本模块（1）的驱动元件（15），从而在基底（2）转动时生成Coriolis力，以及包含传感器元件（22），特别是安置在样本模块（1）下方的电极，从而探测样本模块（1）因所生成的Coriolis力而产生的偏移。样本模块（1）围绕中心锚固件（3）均匀地安置，并且能够相对于中心锚固件（3）径向地被驱动。锚固弹簧（5、6）设计成样本模块（1）既能够在X-Y平面内径向偏移，又能够出离所述X-Y平面偏移。传感器模块（20）通过传感器弹簧（21）安置在一个样本模块上，特别是安置在每个样本模块（1）上，并且传感器弹簧（21）允许传感器模块（20）在样本模块（1）的平面内或在X-Y平面内、且正交于样本模块（1）的径向驱动方向的偏移。

主权项

一种用于探测相对于X轴线和/或Y轴线和Z轴线的运动的微陀螺仪，所述微陀螺仪具有基底(2)；多个振动样本模块(1)；用于将所述振动样本模块(1)附接至所述基底(2)的锚固件(3、4)、以及安置在所述锚固件(3、4)与所述振动样本模块(1)之间的锚固弹簧(5、6)；用于在X‑Y平面内使得所述振动样本模块(1)振动的驱动元件(15)，从而在所述基底(2)转动时产生Coriolis力；以及传感器元件(22)，用于探测振动样本模块(1)因所产生的Coriolis力而造成的偏移，所述振动样本模块(1)能够相对于彼此径向地被驱动，所述锚固弹簧(5、6)设置成所述振动样本模块(1)能够在所述X‑Y平面内径向偏移，传感器模块(20)通过传感器弹簧(21)安置在所述振动样本模块中的一个上，所述传感器弹簧(21)允许所述传感器模块(20)相对于所述振动样本模块(1)偏移，其特征在于，所述锚固件(3、4)之一是中心锚固件(3)，其它锚固件是外锚固件(4)，所述振动样本模块(1)围绕中心锚固件(3)均匀地安置，并且能够相对于所述中心锚固件(3)径向地被驱动；除了在所述X‑Y平面内径向偏移以外，所述锚固弹簧(5、6)还设置成所述振动样本模块(1)能够出离所述X‑Y平面偏移；并且所述传感器弹簧(21)允许每个传感器模块(20)仅仅在所述振动样本模块(1)的平面内、且正交于所述振动样本模块(1)的径向驱动方向偏移。