| 发明名称 |
一种超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃的加工方法 |
| 摘要 |
本发明提供了一种超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃的方法，属于特种加工领域。本发明涉及到的加工方法主要分为四步：(1)将石英玻璃在夹具上装夹好，并向容器中添加硫酸铜溶液；(2)确定激光刻蚀石英玻璃的激光系统工艺参数及超声系统工艺参数；(3)确定激光扫描路径和扫描速度；(4)超声辅助激光按照扫描路径刻蚀石英玻璃。该方法主要是以激光背部湿刻法刻蚀石英玻璃为主，在激光刻蚀的基础上增加了超声振动、超声清洗以及二者之间的复合加工作用，实现超声辅助激光等离子体背部湿刻法刻蚀石英玻璃。本发明所提供的方法，可实现在石英玻璃表面上刻蚀出的凹槽表面不存在明显的熔渣及重铸层，且表面光滑、清洁，得到了良好的加工效果。 |
| 申请公布号 |
CN105689898A |
申请公布日期 |
2016.06.22 |
| 申请号 |
CN201610212984.9 |
申请日期 |
2016.04.05 |
| 申请人 |
江南大学 |
发明人 |
丛启东;袁根福;章辰 |
| 分类号 |
B23K26/364(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I;B23K26/346(2014.01)I;B23K26/122(2014.01)I;C03C15/00(2006.01)I |
主分类号 |
B23K26/364(2014.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种超声辅助激光背部湿刻法刻蚀石英玻璃的加工方法，其特征在于，包括：(1)将石英玻璃在夹具上装夹好，并向容器中添加硫酸铜溶液；(2)确定激光刻蚀石英玻璃的激光系统工艺参数和超声系统工艺参数；(3)确定激光扫描路径和扫描速度；(4)超声辅助激光按照扫描路径进行刻蚀加工。 |
| 地址 |
214122 江苏省无锡市蠡湖大道1800号江南大学机械工程学院 |
