基板搬运装置

摘要

基板搬运装置（1）具备第一手部机构（40）以及第二手部机构（140），第一手部机构（40）包括：第一下臂部（41）；第一上臂部（42）；梢端部为第一基板保持部（43a）的第一手部（43）；和使第一手部（43）从动于第一上臂部（42）的转动进行转动的第一从动机构（44）；且形成为通过第一下臂部（41）、第一上臂部（42）以及第一手部（43）的转动，使第一基板保持部（43a）在缩回位置和伸展位置之间移动的结构；第二手部机构（140）包括：第二下臂部（141）；第二上臂部（142）；梢端部为第二基板保持部（143a）的第二手部（143）；和使第二手部（143）从动于第二上臂部（142）的转动进行转动的第二从动机构（144）；且形成为通过第二下臂部（141）、第二上臂部（142）以及第二手部（143）的转动，使第二基板保持部（143a）在缩回位置和伸展位置之间与第一基板保持部（43a）同步地移动的结构。

主权项

一种基板搬运装置，具备：能够以旋转轴线为中心转动的旋转部；相对于包括所述旋转轴线的对称面对称地设置在所述旋转部的第一手部机构以及第二手部机构；和驱动所述第一手部机构以及第二手部机构的搬运装置驱动机构；所述第一手部机构包括：第一下臂部，其一端部安装于所述旋转部且能够以平行于所述旋转轴线的第一轴线为中心转动；第一上臂部，其一端部安装于所述第一下臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第二轴线为中心转动；第一手部，其梢端部是第一基板保持部，其基端部安装于所述第一上臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第三轴线为中心转动，并且从动于所述第一上臂部的转动进行转动；和使所述第一手部从动于所述第一上臂部的转动进行转动的第一从动机构；并且所述第一手部机构形成为如下结构：通过所述第一下臂部、所述第一上臂部以及所述第一手部的转动，能够使所述第一基板保持部在所述第一基板保持部离所述旋转轴线近的缩回位置、和相比于所述缩回位置第一基板保持部离所述旋转轴线远的伸展位置之间移动；所述第二手部机构包括：第二下臂部，其一端部安装于所述旋转部且能够以平行于所述旋转轴线的第四轴线为中心转动；第二上臂部，其一端部安装于所述第二下臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第五轴线为中心转动；第二手部，其梢端部是第二基板保持部，其基端部安装于所述第二上臂部的另一端部且能够以平行于所述旋转轴线的第六轴线为中心转动，并且从动于所述第二上臂部的转动进行转动；和使所述第二手部从动于所述第二上臂部的转动进行转动的第二从动机构；并且所述第二手部机构形成为如下结构：通过所述第二下臂部、所述第二上臂部以及所述第二手部的转动，能够使所述第二基板保持部在所述第二基板保持部离所述旋转轴线近的缩回位置、和相比于所述缩回位置第二基板保持部离所述旋转轴线远的伸展位置之间与所述第一基板保持部同步地移动。