加热装置及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种加热装置及等离子体加工设备，该加热装置包括电阻丝以及第一底座，还包括固定件，所述电阻丝通过借助所述固定件固定在所述第一底座上。所述固定件不仅可以避免电阻丝偏离预先设置的位置，确保电阻丝始终在第一底座均匀分布，而且可以使电阻丝保持相同的伸展系数，从而提高加热装置加热的均匀性以及使用寿命。本发明提供的等离子体加工设备，其反应腔室内部的温度均匀，可以提高被加工工件的加工质量。

主权项

一种加热装置，包括电阻丝以及第一底座，其特征在于，还包括固定件和第二底座，其中，所述第一底座和所述第二底座相对设置，并且在所述第一底座和所述第二底座的相对面上所述第一底座和所述第二底座中至少一个设有凹部，借助所述凹部形成用于放置所述固定件的中空空间，所述中空空间用于使所述电阻丝与外界隔离；所述固定件为与所述第一底座的周向相对应的凹槽，所述电阻丝设置在所述凹槽内,且所述凹槽扣设在所述第一底座上。