| 发明名称 | 一种硅片研磨装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种研磨装置，具体涉及一种硅片研磨装置，属于机械技术领域。一种硅片研磨装置，包括一硅片固定装置、研磨盘，所述研磨盘设置于硅片固定装置下方。该硅片研磨装置能够节省设备的空间和材料损耗，操作方便，成本低，结构简单，研磨效果好。 | ||
| 申请公布号 | CN205271696U | 申请公布日期 | 2016.06.01 |
| 申请号 | CN201521124657.5 | 申请日期 | 2015.12.31 |
| 申请人 | 福建阿石创新材料股份有限公司 | 发明人 | 陈钦忠;邓全清 |
| 分类号 | B24B37/30(2012.01)I;B24B37/16(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/30(2012.01)I |
| 代理机构 | 福州科扬专利事务所 35001 | 代理人 | 徐开翟 |
| 主权项 | 一种硅片研磨装置，其特征在于：包括一硅片固定装置（1）、研磨盘（2），所述研磨盘（2）设置于硅片固定装置（1）下方。 | ||
| 地址 | 350299 福建省福州市长乐市航城街道琴江村太平里169号 | ||