一种高灵敏度振荡场光波导传感器

摘要

本发明公开了一种高灵敏度振荡场光波导传感器。包括入射层、衬底层以及设于所述入射层与衬底层之间的导波层，所述入射层和衬底层分别包括附着于相应的入射玻璃和衬底玻璃上的贵金属薄膜，所述导波层包括一腔体，所述腔体包括一设于所述入射层与衬底层或其贵金属薄膜之间的一刚性围体。该高灵敏度振荡场光波导传感器结构简单、科学、合理，无需进行平行度的调节，检测操作十分简单、方便，可以选择检测高阶模，检测灵敏度高、精度高，稳定性高，检测范围宽，适用性强。

主权项

一种高灵敏度振荡场光波导传感器，包括入射层、衬底层以及设于所述入射层与衬底层之间的导波层，所述入射层和衬底层分别包括附着于相应的入射玻璃和衬底玻璃上的贵金属薄膜，其特征是所述导波层包括一腔体，所述腔体包括一设于所述入射层与衬底层或其贵金属薄膜之间的一刚性围体。