清洁结构和离子注入设备

摘要

本实用新型实施例公开一种清洁结构和采用该清洁结构的离子注入设备，通过清洁接口与气体通道的气体入口连通，再通过清洁气源构件对清洁接口输出气流，使得气流通过清洁接口和气体入口进入气体通道内，将堵塞气体通道内的污染物带出，实现快速清洁气体通道。

主权项

一种清洁结构，用于清洁离子注入设备，所述离子注入设备包括用于传输工艺气体的通气结构，所述通气结构包括若干气体通道，每个气体通道均包括气体入口和气体出口，其特征在于，所述清洁结构包括：若干清洁接口，每个所述清洁接口均包括用于与所述气体入口连通的配接结构；清洁气源构件，连接所述清洁接口，用于对所述清洁接口输出气流。