| 摘要 |
具有嵌入式微流体的色敏影像感测器包括一矽基板，其具有(a)至少一个凹部，其部分地界定至少一个嵌入式微流体通道和(b)复数个感光区域，用于产生位置感测的电性信号，以响应从上述至少一个凹部来的光，其中至少两个感光区域分别位于相对于上述至少一个凹部的至少两个相互不同的深度范围，以提供色彩资讯。一种制造复数个如此的色敏影像感测器的晶圆级制造方法。一种用于产生流体样品之色彩影像的方法，包括对一沉积在嵌入于矽基板内的微流体通道内的流体样品进行成像，到矽基板的复数个感光区域上，和基于光穿透到矽基板的深度产生色彩资讯。
|
