硏磨液浓度维持系统

摘要

明系揭露了一种研磨液浓度维持系统，本发明的其中一例系利用由研磨液之水位高度差配合浮具所产生的浮力以为动力来控制阻隔件的开启及关闭以为补充液之即时补充及研磨液浓度之维持。

主权项

一种研磨液浓度维持系统，其包含有：一第一腔，储存有一补充液，该第一腔系具有一第一出口；一第二腔，储存有一研磨液，该第二腔系具有一第二入口；一阻隔件；以及一液面高度感测模组，包含有一浮具设置于该第二腔之该研磨液之液面，该浮具系与该阻隔件藉由一传动元件来与该阻隔件耦接；其中，该研磨液浓度维持系统系具有一开启状态以及一封闭状态，在该封闭状态时，该阻隔件系该设置于该第一出口以及该第二入口之间以减少该补充液进入该第二腔之流率，在开启状态时，该研磨液于该第二腔的液面系较封闭状态时低，该浮具随该液面下降来带动该传动元件进而移动该阻隔件以使该补充液自该第一腔进入该第二腔，该补充液进入该研磨液储存腔后与该研磨液混合进以降低该研磨液的浓度；该传动元件组系包含有一传动索以及复数个转向轮，该复数个转向轮系分别设置于该第一腔及该第二腔外，以使该传动索得以接受该浮具因浮力而对该阻隔件施加有一平行于重力方向之力以使该阻隔件远离该第一出口。