| 主权项 |
一种带有环境反馈的自动干涉检测系统，其特征在于，包括：独立地基(1)、第一振动测量探头(2)、主动隔振系统(3)、大理石平台(4)、第二振动测量探头(5)、调整架(6)、第三振动测量探头(7)、转台(8)、待测镜架(9)、第四振动测量探头(10)、第一导轨(11)、第二导轨(12)、干涉仪衍架(13)、温度测量探头(14)、外壳(15)、干涉仪测量头(16)、第五振动测量头(17)和计算机(18)；其中：独立地基(1)上放置主动隔振系统(3)和第一振动测量探头(2)；主动隔振系统(3)上放置大理石平台(4)，大理石平台(4)上面放置调整架(6)，第二振动测量探头(5)放置在大理石平台(4)侧面；调整架(6)上方放置转台(8)，第三振动测量探头(7)放置在大理石平台(4)台面上；待测镜架(9)放置在转台(8)上，第四振动测量探头(10)放置在待测镜架(9)边上，干涉仪衍架(13)固定在大理石平台(4)上，第一导轨(11)固定在干涉仪衍架(13)一侧，第二导轨(12)固定在第一导轨(11)上，温度测量探头(14)固定在第二导轨(12)上，外壳(15)固定在大理石平台(4)上，第二振动测量探头(5)、调整架(6)、第三振动测量探头(7)、转台(8)、待测镜架(9)、第四振动测量探头(10)、第一导轨(11)、第二导轨(12)、干涉仪衍架(13)、温度测量探头(14)、干涉仪测量头(16)和第五振动测量头(17)均在外壳(15)内，干涉仪测量头(16)固定在干涉仪衍架(13)上，第五振动测量探头(17)固定在干涉仪测量头(16)边上，计算机(18)与主动隔振系统(3)、第一振动测量探头(2)、第二振动测量探头(5)、第三振动测量探头(7)、第四振动测量探头(10)、第五振动测量探头(17)、温度测量探头(14)、调整架(6)、转台(8)、第一导轨(11)、第二导轨(12)、干涉仪测量头(16)相连；独立地基(1)：用于隔离地面振动；第一振动测量探头(2)：用于测量地面垂直振动；主动隔振系统(3)：用于进一步隔离地面振动；大理石平台(4)：用于放置各种测量设备及配件；第二振动测量探头(5)：用于测量大理石平台水平振动；调整架(6)：用于调整待测镜架(9)的状态；第三振动测量探头(7)：用于测量大理石平台台面垂直振动；转台(8)：用于转动待测镜架(9)；待测镜架(9)：用于放置待测镜；第四振动测量探头(10)：用于测量待测镜架上的垂直振动；第一导轨(11)：用于控制温度测量探头(14)的垂直方向移动；第二导轨(12):固定在第一导轨(11)上，用于控制温度测量探头(14)的水平方向移动；干涉仪衍架(13)，用于固定干涉仪测量头(16)和第一导轨(11)；温度测量探头(14)，用于测量干涉仪测量头(16)和待测镜架(9)之间的温度变化；外壳(15)：用于保持壳内的温度和气流的稳定；干涉仪测量头(16)，用于干涉测量待测镜面形；第五振动测量探头(17)，用于测量干涉仪测量头(16)上的垂直振动；计算机(18)：与主动隔振系统(3)、第一振动测量探头(2)、第二振动测量探头(5)、第三振动测量探头(7)、第四振动测量探头(10)、第五振动测量探头(17)、温度测量探头(14)、调整架(6)、转台(8)、第一导轨(11)、第二导轨(12)相连，控制这些设备的运动或进行数据传输；所述第一振动测量探头(2)、所述第二振动测量探头(5)、所述第三振动测量探头(7)、所述第四振动测量探头(10)和第五振动测量探头(17)均为加速度计或位移计，并均通过计算机(18)进行数据输出。 |
