| 摘要 |
내약품성을 양호하게 하고, 비유전율을 낮게 하여, 패턴의 치수 안정성을 더 양호하게 할 수 있는 감광성 수지 조성물, 경화막의 제조 방법, 경화막, 액정 표시 장치 및 유기 EL 표시 장치의 제공. (A) 중합체 성분, (B) 광산발생제, (C) 용제를 함유하고, (A) 중합체 성분이, (1) (a1) 산기가 산분해성기로 보호된 기를 갖는 구성 단위, 및 (a2) 가교성기를 갖는 구성 단위를 포함하는 중합체 (A1) 및 (2) 구성 단위 (a1)을 포함하는 중합체 (A2), 및 구성 단위 (a2)를 포함하는 중합체 (A3) 중 적어도 한쪽을 포함하며; (3) 중합체 (A1)~(A3) 중 적어도 1종이, (a4) 알칼리 가수분해에 의하여 카복실기를 발생하는 기를 갖는 구성 단위를 포함하는 중합체이거나, (4) 구성 단위 (a4)를 더 포함하고, 또한 구성 단위 (a1) 및 구성 단위 (a2)를 포함하지 않는 중합체 (A4)를 포함하며, (A) 중합체 성분을 구성하는 전체 구성 단위에 대하여, 구성 단위 (a2)의 비율이 10~40몰%이고, 구성 단위 (a4)의 비율이 1.0~20몰%인 감광성 수지 조성물. |
