一种设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置

摘要

一种设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空泵上的支撑托杆及设于支撑托杆与稳定凸缘之间的阻尼器，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述阻尼器包括两个分别与阻尼支撑托和稳定凸缘贴合的弹性阻尼块及设于两个弹性阻尼块之间的阻尼块配重。阻尼器与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。

主权项

一种设于真空腔与真空泵之间的阻尼块配重隔振装置，其特征在于，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座的双层弹性隔膜，固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，设于稳定凸缘下部真空泵上的支撑托杆及设于支撑托杆与稳定凸缘之间的阻尼器，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述阻尼器包括两个分别与阻尼支撑托和稳定凸缘贴合的弹性阻尼块及设于两个弹性阻尼块之间的阻尼块配重。