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经营范围
发明名称
電子デバイスの製造方法
摘要
申请公布号
JP5905264(B2)
申请公布日期
2016.04.20
申请号
JP20120003420
申请日期
2012.01.11
申请人
セイコーインスツル株式会社
发明人
中村 敬彦;荒武 潔;沼田 理志
分类号
H01L23/08
主分类号
H01L23/08
代理机构
代理人
主权项
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