电容性压力感测器及其制造方法以及输入装置

摘要

一种触碰模式之电容性压力感测器，该电容性压力感测器能够根据一压力之一量测范围容易地改变量测敏感度，且易于感测出该压力已达到该量测范围的最大值。

主权项

一种电容性压力感测器，其包含：一固定电极；一形成于该固定电极上方之介电层；及一导电膜片，其形成于该介电层上方，其间有一间隙，其中该介电层的与该膜片对置之一部分具有复数个接触区以允许该膜片触碰，且当该介电层之一厚度为d，且该介电层之一介电常数为ε时，在该等各别接触区之间的一边界中，该介电层之一比率ε/d的一值不连续地改变，其中随着一施加至该膜片之压力变得较大，该膜片顺序地触碰具有该比率ε/d之较小值的该接触区。