포토리소그래피 공정들을 튜닝하는 시스템들 및 방법들이 개시된다. 튜닝가능한 파라미터들의 일 세트에 대해 타겟 스캐너의 감도를 정의하는 타겟 스캐너의 모델이 유지된다. 변별적 모델은 기준으로부터의 타겟 스캐너의 편차들을 나타낸다. 타겟 스캐너는 변별적 모델 및 기준 스캐너의 세팅들에 기초하여 튜닝될 수 있다. 관련 스캐너 군의 성능은 기준 스캐너의 성능에 대해 특성화될 수 있다. 변별적 모델들은 이미징 동작의 차이를 시뮬레이션하는데 사용될 수 있는 파라미터 오프셋들 및 다른 차이들과 같은 정보를 포함할 수 있다.
