VACUUM PAD AND VACUUM CUP USING THE PAD

摘要

본 발명은 진공용 패드 및 이를 이용한 진공컵에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 진공용 패드는, 고무재질로 형성되는 바닥판과, 상기 바닥판의 표면에 폴리파라크실렌(poly-para-xylylene)을 진공증착하여 형성되는 코팅층을 포함한다. 이에 따라, 유리와 같은 부재를 이송시키기 위한 진공흡착시 고무재질의 패드 상의 코팅층에 의해 패드의 오일이 유출되는 것을 방지할 수 있다.