| 发明名称 |
用于汽相沉积含有第６族过渡金属之膜的第６族成膜组成物 |
| 摘要 |
明揭示第6族成膜组成物，其包含选自由以下组成之群的含有第6族过渡金属之前驱物：M(=O)2(OR)2式I，M(=O)(NR2)4式II，M(=O)2(NR2)2式III，M(=NR)2(OR)2式IV，及M(=O)(OR)4式V，其中M为Mo或W且各R独立地为H、C1至C6烷基或SiR'3，其中R'为H或C1至C6烷基。本发明亦揭示合成所揭示之组成物及使用所揭示之组成物经由气相沈积制程在基板上沈积含有第6族过渡金属之膜的方法。
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| 申请公布号 |
TW201612354 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW104125769 |
申请日期 |
2015.08.07 |
| 申请人 |
液态空气乔治斯克劳帝方法研究开发股份有限公司 |
发明人 |
兰萨洛 马特拉斯 克雷门;赖弗利格 朱利安;杜萨拉特 克里斯均;寇拉斯 安东尼;金 钟珉 |
| 分类号 |
C23C16/40(2006.01);H01L21/285(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/40(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰;林景郁 |
| 主权项 |
一种第6族成膜组成物，其包含选自由以下组成之群的含有第6族过渡金属之前驱物：M(=O)(NR2)4式I，M(=O)2(NR2)2式II，及M(=NR)2(OR)2式III，其中M为Mo或W且各R独立地为H、C1至C6烷基或SiR'3，其中R'为H或C1至C6烷基。
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| 地址 |
法国 |
