玻璃基板之制造方法、及玻璃基板之制造装置

摘要

明之目的在于提供一种可降低对环境施加之负载、且可抑制玻璃基板之表面污染之玻璃基板之制造方法、及玻璃基板之制造装置。

主权项

一种玻璃基板之制造方法，其系藉由使磨石接触于玻璃基板之端面且使上述磨石相对于上述玻璃基板相对性地移动而对上述端面进行加工者，且包括：磨削步骤，系藉由使收纳于壳体中之上述磨石旋转且使旋转之上述磨石接触于上述端面而对上述端面进行磨削；冷却步骤，系对上述磨石与上述端面之接触部供给包含非离子系界面活性剂之水溶液即冷却液而对上述接触部进行冷却；及抽吸步骤，系藉由使上述壳体之内部空间相对于上述壳体之外部空间成为负压，而自上述内部空间抽吸上述冷却液；且上述壳体具有用以将上述玻璃基板插入至上述内部空间之狭缝。