发明名称 |
气路界面显示方法和系统 |
摘要 |
本发明公开了一种气路界面显示方法和系统,其中方法包括如下步骤:步骤S100,根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数,计算步长参数,并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息;步骤S200,检测步长参数,当步长参数大于或等于预设值时,控制气路界面中气体管路的位置以步长参数为间隔,均匀显示所需气体种类中其他气体的气体管路信息。其通过在下位机工艺腔室的通道增加下位机通道,并读取下位机通道显示的所需气体种类数,减少了上位机存储并读取XML配置文件的空间和时间的浪费,有效解决了现有的气路界面边缘处的提示信息不能很好地起到提示作用的问题。 |
申请公布号 |
CN105446275A |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201410393050.0 |
申请日期 |
2014.08.12 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
李兰晓 |
分类号 |
G05B19/418(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
G05B19/418(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
李芙蓉 |
主权项 |
一种气路界面显示方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S100,根据上位机所能配备的气体种类总数和下位机所需气体种类数,计算步长参数,并在气路界面中第一路气体管路的位置显示所需气体种类中第一种气体的气体管路信息;步骤S200,检测所述步长参数,当所述步长参数大于或等于预设值时,控制所述气路界面中气体管路的位置以所述步长参数为间隔,均匀显示所述所需气体种类中其他气体的所述气体管路信息。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号 |