发明名称 一种甚长波热释电红外单元探测器
摘要 本发明实施例公开了一种甚长波热释电红外单元探测器,包括吸收层和内部放大电路。该吸收层包括:钽酸锂晶片,该钽酸锂晶片包括底面和顶面;金属反射层,设置在钽酸锂晶片的底面上;第一金属吸收层,设置在钽酸锂晶片的顶面上;铁氧体层,设置在所述第一金属吸收层的顶面上;介质层,设置在铁氧体层的顶面上;第二金属吸收层,设置在介质层的顶面上。本发明的实施例中的甚长波热释电红外单元探测器中,金属吸收层与金属反射层以及钽酸锂晶片形成谐振腔对特定波段的红外光进行多次谐振吸收,同时介质层也可形成小的反射腔进行多次吸收,最大限度的提高了对入射光的吸收率。
申请公布号 CN103682076B 申请公布日期 2016.03.30
申请号 CN201310694319.4 申请日期 2013.12.18
申请人 电子科技大学 发明人 刘子骥;梁志清;蒋亚东;王涛
分类号 H01L37/02(2006.01)I 主分类号 H01L37/02(2006.01)I
代理机构 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人 谭新民
主权项 一种甚长波热释电红外单元探测器,包括吸收层和内部放大电路,其特征在于,所述吸收层包括:钽酸锂晶片,所述钽酸锂晶片包括底面和顶面,并且所述钽酸锂晶片的厚度为20至30微米;金属反射层,所述金属反射层设置在所述钽酸锂晶片的底面上;第一金属吸收层,所述第一金属吸收层设置在所述钽酸锂晶片的顶面上;铁氧体层,所述铁氧体层设置在所述第一金属吸收层的顶面上;介质层,所述介质层设置在所述铁氧体层的顶面上;第二金属吸收层,所述第二金属吸收层设置在所述介质层的顶面上。
地址 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号