发明名称 |
一种真空玻璃等离子体清洗方法和设备 |
摘要 |
本发明公开了真空玻璃等离子体清洗方法,该方法包括以下步骤:1)、将与激发电源相连的两个激发电极作用在真空玻璃上;2)、通过真空玻璃的抽气口将真空腔抽至设定压力;3)、打开激发电源,使产生的等离子体轰击玻璃内表面和封装层内表面,使吸附在其上的有机污染物脱离出来;4)、将步骤3)中轰击产生的气体抽走;5)、重复2-4的步骤;6)、持续抽真空到设定真空值后,对抽气口进行密封,完成真空玻璃制造。本发明提供的清洗方法,不仅加快了真空玻璃抽真空速度,提升了生产效率,同时,提高了真空玻璃真空度,延长其使用寿命。本发明还包括真空玻璃等离子体清洗设备。 |
申请公布号 |
CN105436180A |
申请公布日期 |
2016.03.30 |
申请号 |
CN201510935112.0 |
申请日期 |
2015.12.15 |
申请人 |
洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 |
发明人 |
赵雁;李彦兵;王章生 |
分类号 |
B08B11/04(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B11/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 |
代理人 |
尹振启 |
主权项 |
一种真空玻璃等离子体清洗方法,用于去除封装后的真空玻璃腔体内的有机污染物,所述真空玻璃的至少一片玻璃基板上有抽气口,包括以下步骤:1)、将与激发电源相连的两个激发电极作用在真空玻璃上;2)、通过真空玻璃的抽气口将真空腔抽至设定压力;3)、打开激发电源,电离真空腔内的稀薄气体,使产生的等离子体轰击玻璃内表面和封装层内表面,使其上附着的有机污染物脱离出来;4)、将步骤3)中轰击产生的气体抽走;5)、重复2‑4的步骤;6)、持续抽真空到设定真空值后,对抽气口进行密封,完成真空玻璃制造。 |
地址 |
471000 河南省洛阳市伊滨区希望大道6号 |