发明名称 一种真空玻璃等离子体清洗方法和设备
摘要 本发明公开了真空玻璃等离子体清洗方法,该方法包括以下步骤:1)、将与激发电源相连的两个激发电极作用在真空玻璃上;2)、通过真空玻璃的抽气口将真空腔抽至设定压力;3)、打开激发电源,使产生的等离子体轰击玻璃内表面和封装层内表面,使吸附在其上的有机污染物脱离出来;4)、将步骤3)中轰击产生的气体抽走;5)、重复2-4的步骤;6)、持续抽真空到设定真空值后,对抽气口进行密封,完成真空玻璃制造。本发明提供的清洗方法,不仅加快了真空玻璃抽真空速度,提升了生产效率,同时,提高了真空玻璃真空度,延长其使用寿命。本发明还包括真空玻璃等离子体清洗设备。
申请公布号 CN105436180A 申请公布日期 2016.03.30
申请号 CN201510935112.0 申请日期 2015.12.15
申请人 洛阳兰迪玻璃机器股份有限公司 发明人 赵雁;李彦兵;王章生
分类号 B08B11/04(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I 主分类号 B08B11/04(2006.01)I
代理机构 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 代理人 尹振启
主权项 一种真空玻璃等离子体清洗方法,用于去除封装后的真空玻璃腔体内的有机污染物,所述真空玻璃的至少一片玻璃基板上有抽气口,包括以下步骤:1)、将与激发电源相连的两个激发电极作用在真空玻璃上;2)、通过真空玻璃的抽气口将真空腔抽至设定压力;3)、打开激发电源,电离真空腔内的稀薄气体,使产生的等离子体轰击玻璃内表面和封装层内表面,使其上附着的有机污染物脱离出来;4)、将步骤3)中轰击产生的气体抽走;5)、重复2‑4的步骤;6)、持续抽真空到设定真空值后,对抽气口进行密封,完成真空玻璃制造。
地址 471000 河南省洛阳市伊滨区希望大道6号