| 摘要 |
본 발명은 복수의 1차 유체 공급원과 유체 토출부, 및 공통 펌프를 갖는 시스템을 위한 방법에 관한 것으로서, 방법은 제1 유체의 펌핑을 중단하는 단계와, 공통 펌프를 유체 토출부와 1차 유체 공급원으로부터 격리시키는 단계와, 공통 펌프의 유입구를 용매 공급원에 그리고 공통 펌프의 유출구를 폐기 유체 덤프에 연결시키는 단계와, 공통 펌프를 처음에 펌핑 모드에서 그리고 후속적으로 재순환 모드에서 그리고 후속적으로 플러시 모드에서 작동시키는 단계와, 공통 펌프의 유입구를 제2의 1차 유체 공급원에 그리고 공통 펌프의 유출구를 토출 라인에 연결시키는 단계와, 토출 라인을 통한 제2의 1차 유체 공급원으로부터의 제2 유체의 펌핑을 개시하는 단계를 포함한다. |
