一种自发热辅助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法

摘要

本发明公开了一种自发热辅助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法，包括以下步骤：步骤1对石英玻璃进行油性冷却液辅助冷却粗磨和精磨，获得表面粗糙度Ra＜300nm，裂纹深度SSD＜5μm的工件表面；步骤2利用超细磨粒陶瓷结合剂CBN砂轮对石英玻璃进行延性域干磨削，且不添加任何冷却液，利用砂轮磨削过程产生的磨削热使石英玻璃表面温度升高，使石英玻璃的脆塑转变临界砂轮半径切入深度从亚微米增大至数微米，在微米级的砂轮半径切入深度下对石英玻璃进行磨削加工，实现石英玻璃的延性域高效超精密磨削，获得光滑无裂纹的石英玻璃表面。

主权项

一种自发热辅助延性域磨削石英玻璃的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1对石英玻璃进行油性冷却液辅助冷却粗磨和精磨，获得表面粗糙度Ra<300nm，裂纹深度SSD<5um的工件表面；步骤2利用陶瓷结合剂CBN砂轮对石英玻璃进行延性域干磨削，且不添加任何冷却液，利用砂轮磨削过程产生的磨削热使石英玻璃表面温度升高，使石英玻璃的脆塑转变临界砂轮半径切入深度从亚微米增大至数微米，在微米级的砂轮半径切入深度下对石英玻璃进行磨削加工，实现石英玻璃的延性域磨削，获得光滑无裂纹的石英玻璃表面；所述的陶瓷结合剂CBN砂轮的平均磨粒粒径小于10um；步骤2中最终获得表面粗糙度Ra<80nm的光滑无裂纹表面。