用于产生等离子体的天线单元和包括所述天线单元的基板处理装置

摘要

一种用于产生等离子体的天线单元包括：包括第一接入部分和从所述第一接入部分分离出来的多个第一子天线的第一天线；以及包括第二接入部分和从所述第二接入部分分离出来的多个第二子天线的第二天线，所述第一接入部分和所述第二接入部分构成共轴线。

主权项

一种用于产生等离子体的天线单元，包括：第一天线，包括第一接入部分和从所述第一接入部分分离出来的多个第一子天线；以及第二天线，包括第二接入部分和从所述第二接入部分分离出来的多个第二子天线，所述第一接入部分和所述第二接入部分构成共轴线，其中所述第一接入部分包括空洞，所述第二接入部分设置在所述空洞中，其中所述第一接入部分和所述第二接入部分之间的空隙中填充有绝缘体，并且在所述绝缘体中形成有用于制冷剂的多条流径。