一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置

摘要

一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，包括真空室、金属有机源输送管路、喷淋器、冷却器、衬底、加热器及氧气引入机构，金属有机源输送管路位于真空室顶部，喷淋器位于真空室内部并与金属有机源输送管路相连，冷却器位于喷淋器下方，氧气引入机构位于冷却器下方，衬底通过弧形板安装在真空室下部，加热器位于衬底及弧形板下方，衬底与氧气引入机构之间留有反应气体输送空间；氧气引入机构与衬底之间距离可调；氧气引入机构包括氧气入口和进气通道，氧气入口与进气通道相连通，进气通道上密布有若干喷淋孔；进气通道采用环状结构；喷淋孔的氧气喷射方向与喷淋器的金属有机源喷射方向平行且相反；在靠近喷淋器一侧的氧气引入机构上设置有隔热机构。

主权项

一种基于MOCVD技术制备REBCO超导材料的装置，其特征在于：包括真空室、金属有机源输送管路、喷淋器、冷却器、衬底、加热器及氧气引入机构，所述金属有机源输送管路位于真空室顶部，所述喷淋器位于真空室内部并与金属有机源输送管路相连，所述冷却器位于喷淋器下方，所述氧气引入机构位于冷却器下方，所述衬底通过弧形板安装在真空室下部，所述加热器位于衬底及弧形板下方，在衬底与氧气引入机构之间留有反应气体输送空间。