掺杂剂涂布系统以及涂布蒸气化掺杂化合物于光伏太阳能晶圆的方法

摘要

明提供一种在处理为PV太阳能电池期间用热浓缩酸掺杂剂化合物对矽晶圆进行掺杂从而形成p-n接面及背部接触层的矽晶圆处理系统、装置及方法。高度浓缩酸掺杂剂藉由加压气体雾化，并经加热至80℃至200℃之范围内，接着引入至一浓缩酸蒸气处理腔室中从而在1.5分钟至6分钟中将蒸气涂布至晶圆，该等晶圆在一多道传送机系统上水平地移动通过该处理腔室。该等晶圆经乾燥并转递至一扩散炉。一可选UV预处理总成在掺杂剂涂布之前藉由UV辐射预调节该等晶圆，且经掺杂晶圆在进行烧制之前可在一UV处理模组中进行后处理。该等晶圆可在该处理腔室中经冷却。烧制之后，该等晶圆显现在60 Ω/sq.至95 Ω/sq.范围内之极好薄层电阻，且在该等晶圆上且在晶圆之间为高度均匀的。

主权项

一种用于将一掺杂化合物涂布至一矽太阳能电池晶圆之至少一表面以供后续烧制从而形成一p-n接面或背部接触层的掺杂机总成，其按操作性组合包含：a)一热磷酸或硼酸蒸气产生腔室，其包括：i.一雾化器，其用于藉由加压气体使高度浓缩液体掺杂剂酸化合物雾化以产生一高度浓缩酸蒸气；及ii.用于对该蒸气加热之构件；b)一连续传送机系统，其用于在一大体上水平之路径中输送冷的矽晶圆，该连续传送机系统包括并排排列之多个道，每一道具有其自己之至少一输送皮带，所有区之该等皮带由一共同驱动系统同步驱动；c)一蒸气涂布处理腔室，该蒸气涂布处理腔室具有供该传送机输送该等晶圆通过该处理腔室之一进口及一出口，该等晶圆在输送期间经定向使得将被涂布该掺杂剂酸化合物的一表面面向上；d)该蒸气产生腔室与该蒸气涂布处理腔室连通地安置以将该热浓缩酸蒸气传递至该涂布处理腔室中；e)该蒸气处理腔室将该酸蒸气之一层限定并引导至该晶圆表面上以在该表面上形成一酸冷凝层；及f)用于在于该晶圆表面上形成一酸蒸气冷凝层之后在
该水平之路径的输送期间使该等晶圆乾燥从而产生经掺杂晶圆的构件。