| 摘要 |
본 발명은 화학 기계적 연마 장치의 캐리어 헤드의 멤브레인에 관한 것으로, 바닥판과, 상기 바닥판의 가장 자리에 절곡 형성된 측면과, 상기 측면의 내측에 압력 챔버를 다수로 분할하도록 상기 바닥판으로부터 돌출되게 연장되어 본체부에 고정되는 고정 플랩을 포함하고 가요성 재질로 이루어진 화학 기계적 연마 장치용 캐리어 헤드의 멤브레인에 있어서, 상기 고정 플랩은 상기 바닥판으로부터 제1높이(L1)만큼 뻗은 상향 구간과, 상기 제1높이의 2배 이상인 제2높이(L2)만큼 곡면으로 형성된 곡면 구간과, 곡면 구간의 끝단으로부터 뻗어 상기 본체부에 고정되는 연장 구간을 포함하여, 상기 압력 챔버의 압력 변동에 따라 상기 고정 플랩의 변위가 상기 곡면 구간의 휨 변위에 의해 이루어지도록 유도되어, 웨이퍼를 가압하는 압력 챔버의 경계에서 과도한 응력이 집중되는 것을 방지는 화학 기계적 연마 장치용 캐리어 헤드의 멤브레인을 제공한다. |
