| 发明名称 |
AN EVALUATION SYSTEM AND A METHOD FOR EVALUATING A SUBSTRATE |
| 摘要 |
솔리드 이머젼 렌즈 및 원자간력 현미경들(AFMs)을 포함하는 공간 센서들을 포함할 수 있는 평가 시스템이 제공될 수 있다. AFM들은, 솔리드 이머젼 렌즈와 기판 사이의 공간적 관계를 나타내는 공간적 관계 정보를 생성하도록 배열된다. 제어기는, 솔리드 이머젼 렌즈와 기판 사이에 원하는 공간적 관계를 도입하기 위해, 공간적 관계 정보를 수신하고, 수정 신호들을 적어도 하나의 위치 수정 엘리먼트에 전송하도록 배열된다. |
| 申请公布号 |
KR20160013931(A) |
申请公布日期 |
2016.02.05 |
| 申请号 |
KR20157036078 |
申请日期 |
2014.05.22 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. |
发明人 |
UZIEL YORAM;NAFTALI RON;ADAN OFER;FELDMAN HAIM;SHNEYOUR OFER;BAR OR RON;KORNGUT DORON |
| 分类号 |
G01Q70/06;G01Q10/06;G01Q20/02;G01Q60/06 |
主分类号 |
G01Q70/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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