| 摘要 |
측정 웨이퍼를 구비한 열 플럭스 센서는, 기판, 기판의 일부에 열적으로 커플링되는, 커버, 기판과 커버 사이에 형성되는 센서 캐비티, 센서 캐비티의 적어도 일부 내에 배치되는 열 배리어, 기판에 열적으로 커플링되며 열 배리어의 일부에 의해 커버로부터 절연되는 하부 온도 센서 및 커버에 열적으로 커플링되며 열 배리어의 추가 부분에 의해 기판으로부터 절연되는 상부 온도 센서를 포함하고, 하부 온도 센서와 상부 온도 센서 사이의 온도 차이는 센서 캐비티에 근접한 기판과 커버를 통과하는 열 플럭스에 관련된다. |
