模块化洁净室单元设备

摘要

本发明公开了一种模块化洁净室单元设备，涉及洁净室设备技术领域。该单元设备包括外箱体、过滤风机、过滤器和散流板；外箱体为上端封闭、下端开口的罩，散流板设于外箱体下端开口处；散流板的上方依次设有过滤器和过滤风机，散流板包括送风口和回风口；过滤风机的进风口对准散流板的回风口；过滤风机的出风口与散流板的送风口形成通道。该设备自带过滤风机，集送、回风为一体，体积紧凑，密封性好，安装简便，运行可靠稳定且节能，不产尘、不积尘，能有效减少洁净室污染源，应用范围广。

主权项

一种模块化洁净室单元设备，包括过滤器和散流板（4），其特征在于：还包括外箱体（1）和过滤风机；所述外箱体（1）为上端封闭、下端开口的罩，所述散流板（4）设于所述外箱体（1）的下端开口处；所述散流板（4）的上方依次设有所述过滤器和所述过滤风机；所述散流板（4）包括送风口和回风口；所述过滤风机下端的进风口对准所述散流板（4）的回风口；所述过滤风机上端的出风口与所述散流板（4）的送风口形成通道。