| 发明名称 | 结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪 | ||
| 摘要 | 结构体，其包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触；和包括金属部的金属结构体，每个金属部设置在凹部中并且与硅化物层接触。通过硅基板将硅化物层彼此电连接。 | ||
| 申请公布号 | CN105280263A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
| 申请号 | CN201510442291.4 | 申请日期 | 2015.07.24 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 手岛隆行;冈有纱 |
| 分类号 | G21K1/06(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I;G01N23/04(2006.01)I | 主分类号 | G21K1/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 石宝忠 |
| 主权项 | 结构体，包括：具有多个凹部的硅基板，每个凹部具有底部和侧壁；硅化物层，每个硅化物层与凹部的底部接触，通过硅基板将硅化物层彼此电连接；和包括金属部的金属结构体，金属部各自设置在凹部中并且与硅化物层接触。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||