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发明名称 基板処理装置
摘要
申请公布号 JP5844633(B2) 申请公布日期 2016.01.20
申请号 JP20110280030 申请日期 2011.12.21
申请人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス 发明人 相原 友明
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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