光学装置

摘要

本发明涉及一种光学装置。在用针孔或者狭缝限制检测光量的透射型的扫描光学显微镜光学装置中，实现不扫描观察试样而扫描光束的方法。将透过了观察试样（202）的来自光束扫描机构（263）的扫描光聚集到反射板（210）上，再次返回到观察试样（202）。从试样（202）返回的光再次返回光束扫描机构（263）后，使用光检测器（104）检测通过固定的针孔（265）或者狭缝被限制的光。

主权项

一种光学装置，其特征在于，具有：激光光源；光束扫描机构，其扫描从所述激光光源射出的激光；工作台，其保持观察试样；物镜，其将从所述光束扫描机构射出的激光会聚到在所述工作台上保持的观察试样上；聚光光学系统，其设置在所述工作台的光透射侧；反射板，其配置在所述聚光光学系统的聚光位置；聚光透镜，其对来自所述光束扫描机构的返回光进行聚光；开口，其设置在所述聚光透镜的焦点位置；光检测器，其检测通过了所述开口的光；存储部，其将所述光检测器的信号和扫描位置对应地存储；显示装置，其显示所述存储部中存储的信号，其中，作为所述开口使用狭缝，作为所述光检测器使用分光器，来自所述光束扫描机构的返回光包含和入射光的波长不同的波长的光，所述光学装置，还具有：光学元件，其将从所述激光光源射出的激光作为泵浦光，产生超连续谱光；光学系统，其检测来自所述光束扫描机构的返回光的一部分，检测聚焦误差；执行器，其在光轴方向上驱动所述聚光光学系统内的透镜或者所述反射板，照射所述泵浦光和所述超连续谱光的一部分的斯托克斯光作为照射观察试样的光，对来自观察试样的斯托克斯光进行分光，检测所述聚焦误差的光学系统通过来自所述光束扫描机构的返回光中包含的所述泵浦光或者斯托克斯光，得到聚焦误差信号。