| 摘要 |
본 발명은 하전 입자 리소그래피 장치를 자기 차폐하기 위한 시스템에 관한 것이다. 시스템은 제 1 챔버, 제 2 챔버 및 2개의 코일의 세트를 포함한다. 제 1 챔버는 자기 차폐 재료를 포함하는 벽을 갖고, 하전 입자 리소그래피 장치를 적어도 부분적으로 둘러싼다. 제 2 챔버는 자기 차폐 재료를 포함하는 벽을 또한 갖고, 제 1 챔버를 둘러싼다. 2개의 코일의 세트는 제 1 챔버의 대향 측면들에서 제 2 챔버 내에 배치된다. 2개의 코일은 공통축을 갖는다. |
