| 摘要 |
<p>본 발명은 케미컬 재활용이 가능한 케미컬 공급 시스템 및 케미컬 공급방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 케미컬 공급 시스템은 기판 처리 장치와 연결되어 케미컬을 기판 처리 장치로 공급 및 회수 저장하는 용액조와, 상기 용액조 내의 케미컬을 정량 및 정성 분석하고 주기능 케미컬의 공급을 제어하는 분석 제어기와, 상기 분석 제어기의 제어신호에 따라 상기 용액조로 손실된 주기능 케미컬을 정량 공급하는 케미컬 공급장치 및 상기 용액조 내에 배치되어 공급되는 상기 손실된 주기능 케미컬과 상기 용액조 내의 케미컬을 혼합하는 교반기를 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
