光罩检查机

摘要

作涉及一种光罩检查机，其系于机架上设有一位于载台上方之光学影像处理模组，且光学影像处理模组与前述载台可相对线性位移，又该光学影像处理模组可向下撷取载台上光罩之影像，再者上检测模组系于光学影像处理模组一侧另设有一导光单元，该导光单元具有一光源及一导光板，其中导光板可导引光源之光线以线性方式照射于光学影像处理模组之扫描位置，藉此，可利用由线性影像感光元件构成之光学影像处理模组，快速扫描光罩的表面，且透过斜设之导光单元导光板的作用，使光源之光线可斜射于光学影像处理模组扫描处，而提高其聚焦效果，从而提高污染物的辨识率，故能有效增进其检查效率与准确率，减少不必要的人力及误判状况，进一步可提高晶圆后续加工的良率。

主权项

一种光罩检查机，其至少包含有：一机架，机架上设有一供承载一光罩之载台；一上检测模组，其系于机架上设有一位于载台上方之光学影像处理模组，且光学影像处理模组与前述载台可相对线性位移，又该光学影像处理模组可向下撷取载台上光罩之影像，供扫描、辨识、标示及储存光罩之污染物，再者上检测模组系于光学影像处理模组一侧另设有一导光单元，该导光单元具有一光源及一导光板，其中导光板可导引光源之光线以线性方式照射于光学影像处理模组之扫描位置，且导光单元斜射之光线与光学影像处理模组垂直之扫描线间形成有一夹角；藉此，进而组构成一迅速、且准确检出异物之光罩检查机者。