发明名称 具有网络结构纳米线的纳米线传感器
摘要 本发明涉及具有网络结构纳米线的纳米线传感器,通过使用具有重复图案的网络结构纳米线而提高效率和结构稳定性,其特征在于,包括:形成在基板上部的源电极和漏电极;形成在源电极与漏电极之间并且以重复交点图案的网格结构形成的纳米线;以及固定到纳米线并且选择性地与流入的对象物质进行反应的检测物质。
申请公布号 CN103635795B 申请公布日期 2016.01.06
申请号 CN201280018389.1 申请日期 2012.03.19
申请人 浦项工科大学校产学协力团 发明人 李正守;丁润夏;林兑旭;白昌基;金成镐;金岐泫
分类号 G01N27/02(2006.01)I;G01N27/04(2006.01)I;G01N27/22(2006.01)I 主分类号 G01N27/02(2006.01)I
代理机构 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人 余朦;王艳春
主权项 一种具有网格结构纳米线的纳米线传感器,包括:源电极和漏电极,形成在基板上部;纳米线,形成在所述源电极与所述漏电极之间并且以重复交点图案的网格结构形成,其中所述纳米线具有形成在其外部的栅极绝缘膜;绝缘层,形成在所述源电极和所述漏电极上,并暴露所述纳米线的所述栅极绝缘膜;以及检测物质,固定到所述纳米线并且选择性地与流入的对象物质进行反应。
地址 韩国庆尚北道