| 摘要 |
<p>본 발명은 기판처리를 위한 처리공간을 형성하는 공정챔버와; 상기 공정챔버 내부에 구비되며 복수개의 기판들이 n×m(n, m은 2 이상의 자연수) 사각형배열로 안착된 트레이를 지지하는 기판지지대와; 상하로 관통 형성된 다수의 개구부들이 형성되며 상기 기판과 간격을 가지고 상기 기판을 복개하는 커버 플레이트와, 상기 기판과 간격을 두고 설치될 수 있도록 상기 커버 플레이트를 지지하는 지지부를 포함하는 커버부를 포함하는 기판처리장치에 있어서, 상기 기판처리장치는 복수개의 기판들이 배치되어 형성되는 사각형배열의 꼭지점들 중 적어도 어느 하나의 꼭지점에 대응되는 트레이의 모서리 부분에 상기 기판의 주성분과 같은 성분을 포함하는 하나 이상의 코너더미기판이 안착되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.</p> |
