| 摘要 |
<p>본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 상세하게는 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 기판에 대한 처리공정을 수행하는 기판처리장치 및 그에 사용되는 복개부재에 관한 것이다. 본 발명은 기판을 지지하는 기판지지대가 설치되며 상측에 개구가 형성된 챔버본체와; 상기 챔버본체의 개구에 결합되어 밀폐된 처리공간을 형성하는 탑플레이트와; 실질적으로 직사각형을 이루며 상기 탑플레이트의 하부에 설치되어 상기 탑플레이트를 통하여 공급되는 가스를 상기 처리공간 내로 분사하는 샤워헤드부와; 절연재질을 가지고 상기 샤워헤드부에 결합되며, 상기 샤워헤드부의 가장자리의 저면을 복개하는 저면복개부와, 상기 저면복개부로부터 연장형성되어 상기 샤워헤드부의 가장자리의 측면을 복개하는 측면복개부를 포함하는 복개부재를 포함하며, 상기 복개부재는 상기 샤워헤드부의 가장자리 형상에 대응되어 실질적으로 직사각형의 링형상을 가지며, 상기 샤워헤드부의 가장자리를 가로질러 분할된 복수개의 서브복개부재들을 포함하며, 상기 서브복개부재는 이웃하는 서브복개부재와 결합되는 결합부분이 2개의 서로 다른 방향으로 3개 이상의 단차들을 조합하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치를 개시한다.</p> |
