| 发明名称 |
真空泵系统中的泵送方法和真空泵系统 |
| 摘要 |
明有关泵送系统(SP)中的泵送方法，包含：主要乾式螺杆型真空泵(3)，设有连接至真空室(1)之气体进入孔口(2)、及在出现进入该泵送系统(SP)的气体出口(8)之前导入导管(5)的气体离开孔口(4)；逆止阀(6)，被定位于该气体离开孔口(4)与该气体出口(8)间之导管(5)中；及喷射器(7)，与该逆止阀(6)平行地连接。根据此方法，该主要乾式螺杆型真空泵(3)系投入操作，以便将该真空室(1)中所含有之气体泵送经过该气体离开孔口(4)；以同时的方式，该喷射器(7)被以工作流体喂入；及该喷射器(7)持续被以工作流体喂入，该主要乾式螺杆型真空泵(3)一直泵送该真空室(1)中所含有之气体及/或该主要乾式螺杆型真空泵(3)在该真空室(1)中一直维持经定义的压力。本发明亦有关能够被使用于实施此方法之泵送系统(SP)。
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| 申请公布号 |
TW201600723 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104108952 |
申请日期 |
2015.03.20 |
| 申请人 |
亚特里尔斯布契股份有限公司 |
发明人 |
迪狄尔 姆乐;拉奇尔 圣艾瑞克;伊尔其 泰朵 |
| 分类号 |
F04C18/16(2006.01);F04C25/02(2006.01) |
主分类号 |
F04C18/16(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种真空泵系统(SP)中的泵送方法，包含：主要乾式螺杆型真空泵(3)，设有连接至真空室(1)之气体进入孔口(2)、及在出现进入该真空泵系统(SP)的气体出口(8)之前导入导管(5)的气体离开孔口(4)；逆止阀(6)，被定位于该气体离开孔口(4)与该气体出口(8)间之导管(5)中，及喷射器(7)，与该逆止阀(6)平行地连接；该方法的特征在于该主要乾式螺杆型真空泵(3)系投入操作，以便将该真空室(1)中所含有之气体泵送经过该气体离开孔口(4)；以同时的方式，该喷射器(7)被以工作流体喂入；及该喷射器(7)持续被以工作流体喂入，该主要乾式螺杆型真空泵(3)一直泵送该真空室(1)中所含有之气体及/或该主要乾式螺杆型真空泵(3)在该真空室(1)中一直维持经定义的压力。
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| 地址 |
瑞士 |
