Mikro-Ejektor und Verfahren für dessen Herstellung

摘要

Mikro-Ejektor (100), welcher aufweist: ein oberes Substrat (110) mit einer Kammer (113) und wenigstens einer Sperrrippe (114) zum Bilden einer Mehrzahl von Kanälen in der Kammer durch Unterteilen eines Innenraums der Kammer; ein unteres Substrat (120), welches mit dem oberen Substrat verbunden ist, wobei das untere Substrat einen vorstehenden Abschnitt (121) aufweist, der mit der wenigstens einen Sperrrippe (114) in der Kammer (113) in Kontakt ist und die Mehrzahl der Kanäle in Fluidausstoßrichtung bildet, und eine Anzahl von Aktoren (130), die auf einer oberen Fläche des oberen Substrats (110) entsprechend zur Mehrzahl der Kanäle angeordnet sind und eine Antriebskraft zum Ausstoßen des Fluids aus der Kammer zu einer Düse (115) bereitstellen, wobei der vorstehende Abschnitt (121) in die Kammer (113) zur Reduktion der Höhe der Kammer vorsteht.