摘要 |
光変調器(101)は、導波光が伝搬する導波路(112)と、導波路(112)に隣接して形成された金属層(113)と、金属層(113)の導波路(112)に隣接していない面側に形成された、導電性を有する導電性酸化物層(114)と、導電性酸化物層(114)に隣接して形成された絶縁層(115)と、金属層(113)と、導電性酸化物層(114)又は絶縁層(115)との間に電圧を印加する変調回路(102)とを備え、導電性酸化物層(114)と絶縁層(115)とが隣接する界面(11)は、金属層(113)の導波路(112)に隣接していない面から導波光の真空中の波長よりも短い距離を隔てて形成される。 |